無塵車間的用途簡述 |
發(fā)布者: 發(fā)布時(shí)間:2022/12/30 9:06:12 點(diǎn)擊:632 |
無塵車間較首要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制作,此空間咱們稱之為無塵車間。按照世界慣例,無塵凈化等級首要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規(guī)范的粒子數(shù)量來規(guī)定。也是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)塵埃,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)規(guī)范中契合塵埃規(guī)范的顆粒相對于咱們常見的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的塵埃都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,達(dá)到了世界無塵規(guī)范的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵規(guī)范對于塵埃的要求高于A級,這樣的高標(biāo)首要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)厲控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也是業(yè)內(nèi)俗稱的1K等級。
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